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四槽位 FOUP 晶圓盒自動搬運車

這是一款由 (GYRO Systems) 研發的半導體自動化搬運設備，主要特色如下： 高效搬運：具備四個 FOUP 槽位，能一次傳送多組晶圓盒，大幅提升製程間的物流效率。 精準取放：搭載內建視覺的協作手臂，能精確對接機台並安全地進行自動化上下料。 自主導航：採用 AMR 技術，無需軌道即可在無塵室內靈活避障、自主規劃路徑。 智慧轉型：有效取代人工搬運，降低晶圓受汙染風險，是半導體智慧工廠不可或缺的核心設備。