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四槽8吋Open-CST開蓋車

這款是 (GYRO Systems) 專為 8 吋晶圓廠研發的智慧型開蓋搬運機器人，結合了運輸與自動化操作功能： 自動開蓋功能：除了具備 4 個 8 吋 Open-Cassette 槽位，最特別的是整合了自動開蓋機構，能在搬運過程中或對接機台時處理外蓋，確保晶圓在受保護的狀態下進行傳遞。 視覺引導協作：搭載 TM 協作手臂，利用內建視覺精準定位 Cassette 的位置與方向，實現高可靠性的上下料作業。 優化無塵作業：針對 8 吋舊廠自動化升級設計，能有效減少作業員直接接觸晶圓的機會，顯著提升落塵防護等級。 靈活場域適應：採用 AMR 自主導航底盤，不需更動廠房裝潢即可快速部署於狹窄的 8 吋廠走道，實現物料流轉的全自動化。