晶圓儲存器

產品資訊

智慧工廠與無人工廠效率解決方案

Stocker Total Solution

可與MES對接, 識別wafer lot 與對應的製程工序
自動化傳輸與儲存工具與調度軟體，可執行
- Stocker與AGV/AMR 整合調度
- Stocker與eRack之間的自動傳輸
- Stocker與各設備load port之間的自動傳輸

CST STOCKER

一層 10個 12’’/8’’ CST ( <20kg)

高290cm 可放置 7層共 70 lots

SECS/GEM E84 Support

Load Port Input/Output 各一 (with UHF RFID/Present Sensor)

手臂抓取方式香菇頭夾取

約 10~15sec 完成一次取放

PLAN

SKELETON

Object

Model