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產品資訊

智慧工廠與無人工廠效率解決方案

Stocker Total Solution

Wafer Stocker

晶圓儲存器

晶圓儲存器

技術應用


Stocker Total Solution

wafer stocker
  • 可與MES對接, 識別wafer lot 與對應的製程工序
  • 自動化傳輸與儲存工具與調度軟體,可執行
    • Stocker與AGV/AMR 整合調度
    • Stocker與eRack之間的自動傳輸
    • Stocker與各設備load port之間的自動傳輸
CST STOCKER
一層 10個 12’’/8’’ CST ( <20kg)
高290cm 可放置 7層 共 70 lots
SECS/GEM E84 Support
Load Port Input/Output 各一 (with UHF RFID/Present Sensor)
手臂抓取方式 香菇頭夾取
約 10~15sec 完成一次取放

設計規劃


PLan

wafer stocker規劃
PLAN
wafer stocker骨架
SKELETON

wafer stocker 實物
Object
wafer stocker model
Model